有用于输送半导体晶圆的机械手。具体地,该机械手将半导体晶圆插入到处理室(process chamber),或者将半导体晶圆从处理室中取出。传送室(transfer chamber)连结于处理室。机械手配置在该传送室内。利用机械手使半导体晶圆在传送室与处理室之间移动。传送室相当于小的无尘室。传送室防止灰尘等杂质附着于半导体晶圆。在传送室内保持空气(或者气体)清洁。另外,传送室内有时被保持为真空。要求使在传送室内工作的机械手不产生杂质的方法。柔性机械臂具有较低的能耗、较大的操作空间和很高的效率。官方晶圆运送机械吸臂价格优惠
机械臂是指高精度,多输入多输出、高度非线性、强耦合的复杂系统。因其独特的操作灵活性, 已在工业装配, 安全防爆等领域得到广泛应用。机械臂是一个复杂系统, 存在着参数摄动、外界干扰及未建模动态等不确定性。因而机械臂的建模模型也存在着不确定性,对于不同的任务, 需要规划机械臂关节空间的运动轨迹,从而级联构成末端位姿 [1] 。机器人系统是由视觉传感器、机械臂系统及主控计算机组成,其中机械臂系统又包括模块化机械臂和灵巧手两部分。整个系统的构建模型如图1 所示.中山官方晶圆运送机械吸臂价位手臂就要产生振动,或动作时工件卡死无法工作。
电镀:
到这一步,晶圆基本上就完成了,现在要在晶圆上镀一层硫酸铜,铜离子会从正极走向负极。
抛光:
然后将Wafer进行打磨,到这一步晶圆就真正的完成了。
切割:
对晶圆进行切割,值得一提的是晶圆十分易碎,因此对切割的工艺要求也是非常高的。
测试:
测试分为三大类:功能测试、性能测试、抗老化测试。大致测试模式如下:接触测试、功耗测试、输入漏电测试、输出电平测试、动态参数测试、模拟信号参数测试等等。全部测试都通过的,就是正片;部分测试未通过,但正常使用无碍,这是白片;未开始测试,就发现晶圆具有瑕疵的,这是黑片。
中国拥有庞大的制造业,是世界弟一工业机器人市场,有着1000多家与工业机器人相关的企业。但是现阶段中国在机械臂制造领域处于大而不强的状态。拥有自主品牌的工业机械臂的数量和市场占有份额偏低。现在国内很多机器人企业有很多都不是在真心实意地在做技术,很多都是跟着国家提出的中国未来制造的政策与支持来进行获利的。而且很多符合精度要求的关键零部件很大程度上依赖于进口。所以,中国的机械臂在技术方面远远落后于国外,占有的只是低端市场的份额。不过,在非民用机器人与航天机械臂领域,中国的技术也不逊色于美国。所以说只要经过技术的积累,中国的机械臂技术也会不比国外的差多少。 简单的搬运与码垛,根本无法称之为智能制造。
本发明针对现有技术中的不足,提供了一种晶圆搬运机械手,本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动,且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力,同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定,维护方便,多功能集一身,可满足多种工艺设备要求,适用于各种半导体设备。
为了解决上述技术问题,本发明通过下述技术方案得以解决:一种晶圆搬运机械手,包括升降轴、旋转轴和伸展轴,其特征为,所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座,所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节,所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节,所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节,所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动,所述的手指固定座始终保持直线运动。
根据机械手运动和工作的要求,如管路、冷却装置、行程定位装置和自动检测装置等.官方晶圆运送机械吸臂价格优惠
单轴机械手臂作为一个组件在工业中应用***。官方晶圆运送机械吸臂价格优惠
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。
晶圆的原始材料是硅,而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化,并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅,其纯度高达99.9%。
晶圆是制造半导体芯片的基本材料,半导体集成电路最主要的原料是硅,因此对应的就是硅晶圆。 关节式机械手因其结构复杂。广东官方晶圆运送机械吸臂价格便宜 官方晶圆运送机械吸臂价格优惠
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